真空泵机组以罗茨泵为主泵，以水环泵为前级泵串联而成的。选用的水环泵成为前级泵比其它的真空泵更为有利，因为它不但克服了单台水环泵使用时极限压力差（机组的极限压力比水环泵的极限压力有很大的提高），还在一定压力下抽气速率低的缺点。
1、由于真空泵机组分离器疏水后重新充水不完全，再启动真空泵机组时导致凝汽器真空下降，按照运行规程，维持真空泵在启动前，先将真空泵体及分离器水箱内的水疏空，来验证自动补水阀的功能；
2、然后又对真空泵体进行充水。由于充水不够充分，真空泵启动后，分离箱的液位急剧下降到低液位以下，导致泵体内的水封环不能形成。空气经泵体进入系统，导致上述事件的发生。
3、之所以出现充水不够充分的现象，是由于泵体的内部结构所决定的，叶片和叶轮两端的侧板构成许多密封的腔室，在真空泵处于静止状态下进行充水，泵体上半部分的空气不能排出。
4、出现以上情况我们要怎样处理呢？首先取消启泵前对泵体及分离器水箱疏水的步骤。对泵体的充水方法进行优化。真空泵检修后，在对真空泵分离器水箱再次充水时，应以泵盘根有水滴出为好。
如果盘根填料很紧没有水流出，应补水至溢流，并保持溢流20分钟左右，期间手动盘车一圈，防止真空泵启动时导致混合箱水位过低，形不成密封环，从而损坏泵的叶片导致真空下降。只要注意这些就打可以避免故障的发生减少对真空泵机组的损伤。
